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ERS reicht Patentverletzungsklage gegen Cascade ein

MÜNCHEN, 5. Oktober 2015 – Die ERS electronic GmbH, Innovationsführer im Bereich luftgekühlter Chucksysteme für die Halbleiterfertigung, hat sich entschlossen, vor dem Landgericht Düsseldorf Klage gegen die Firma Cascade Microtech GmbH einzureichen wegen der Verletzung des Europäischen Patents EP 1 495 486 B3 „Verfahren und Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden“. Cascade bietet Waferprober … Weiterlesen »